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1、主泵：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。
2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統(tǒng)的壓力達到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。
3、前級泵：用以使另一個泵的前級壓力維持在其許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使用。
4、維持泵：在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。
5、粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
6、高真空泵：在高真空范圍工作的真空泵。
7、超高真空泵：在超高真空范圍內工作的真空泵。
8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。
分類：
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。
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